Это все довольно близкие термины.
Означают просто "отменить решение/cовершенное (напр., административное) действие/запись" и т.п.
Vacate раньше означало строго то же самое, что и (близкие ему) термины из того же синонимического ряда, что и типа cancel, set aside, rescind, annul (например, если решение было вынесено по ошибке, или в силу заблуждения в отношении существенных фактов, в результате допущенных мошеннических действий и т.п.).
Позже, с принятием Rules of Civil Procedure, термин этот был практически вытеснен и заменен этими (партитивными) синонимами.
(Можно еще, например, vacate an entry of record - как мы сказали бы, например, "исключить запись из системы ведения реестра" (проще говоря, исключить из реестра), и т.п.)
В кассационном производстве vacate означает, строго говоря, то же самое, что и reverse (a judgment etc)
Посмотрите ТУТ, может, Вам на будущее что-то там пригодится.
Удачи.
http://www.lingvoda.ru/forum/actualthre ... 5458&pg=-1